Ионно-сорбционная откачка
Ионно-сорбционная откачка . При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа: внедрение ионов в объем твердого тела под действием электрического поля ихимическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных